[发明专利]一种真空用高压连接装置在审
申请号: | 201610811194.2 | 申请日: | 2016-09-08 |
公开(公告)号: | CN107808814A | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 李晨冉 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01L21/67 |
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地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 高压 连接 装置 | ||
1.一种真空用高压连接装置,包括金属底座(1)、绝缘陶瓷座(2)、供电端子(3),其特征在于:该真空用高压连接装置能够实现真空与大气之间的电位连接,并可实现多路供电输入与输出,供电端子可按一定间距线性排列,也可随机排列。能够避免多路供电之间的高压打火问题。
2.根据权利要求1所述的一种真空用高压连接装置,金属底座(1)能够将高压连接装置固定到其他功用零件上,并具有与相应的功用零件相同的电位,其可根据外部接口来进行柔性设计,能够满足多种高压加载环境的应用。
3.根据权利要求1所述的一种真空用高压连接装置,绝缘陶瓷座(2)采用高纯陶瓷材料加工而来,具有良好的绝缘性能,能够使金属底座与供电端子的电位隔离开,并具有固定供电端子的作用,为高压加载提供了结构支撑。
4.根据权利要求1所述的一种真空用高压连接装置,供电端子(3)为可焊接材料加工而成,能够实现真空与大气之间的电位连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空用高压连接装置,金属底座(1)通过真空钎焊固定在绝缘陶瓷座(2)上,多个供电端子(3)也通过真空钎焊固定在绝缘陶瓷座(2)上,这样既保证了供电端子间绝缘保证了供电端子与金属坐(1)间的绝缘,同时保证了真空度要求。
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