[发明专利]一种立式氢化物气相外延生长系统在审
| 申请号： | 201610810916.2 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN106381523A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 修向前;张荣;华雪梅;谢自力;陈鹏;刘斌;周玉刚;韩平;施毅;顾书林;胡立群;郑有炓 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/10;C30B25/14 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 立式 氢化物 外延 生长 系统 | ||
【说明书】：
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