[发明专利]一种发光二极管的制作方法有效
申请号: | 201610809998.9 | 申请日: | 2016-09-08 |
公开(公告)号: | CN106206898B | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 陈功;林素慧;许圣贤;彭康伟;张家宏;林潇雄;王庆 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22;B82Y20/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361003 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 发光二极管 掩膜层 磊晶 蚀刻 倾斜表面 退火 纳米微结构 图案化金属 蚀刻工艺 退火处理 掩膜结构 颗粒状 图案化 内缩 沉积 去除 制作 保留 | ||
【说明书】:
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