[发明专利]一种引出电极的绝缘装置

权利要求书

1.一种用于离子注入机的引出电极绝缘装置，和离子注入机用引出电极一起使用。该引出电极可以从离子源弧室中引出束流。该装置为使其正常工作隔离高压电位和地电位。该装置主要包括：接线座(1)、螺钉(2)、引出抑制电极(3)、绝缘瓷柱(4)、引出地电极(5)、底座(6)和屏蔽筒(7)等。

2.如权利要求1所述的一种用于离子注入机的引出电极绝缘装置，该装置特征在于，采用特别的绝缘瓷柱(4)安装于引出抑制电极(3)和引出地电极(5)之间，可以很好的保护高压电位和地电位。

3.如权利要求1所述的一种用于离子注入机的引出电极绝缘装置，该装置特征在于，引出抑制电极(3)采用螺钉(2)与绝缘瓷柱(4)联接，绝缘瓷柱(4)采用螺钉(2)与屏蔽筒(7)联接，屏蔽筒(7)与底座(6)焊接在一起，底座(6)采用螺钉(2)与引出地电极(5)联接。

4.如权利要求2所述的一种用于离子注入机的引出电极绝缘装置，其特征在于：绝缘瓷柱(4)采用绝缘材料加工，内表面形成U型规则的形状，用于增加表面面积。