[发明专利]微型流体控制装置

权利要求书

1.一种微型流体控制装置，包含：

一压电致动器，包括有：

一悬浮板，为正方形的型态，且可由一中心部到一外周部弯曲振动；

一外框，环绕设置于该悬浮板之外侧；

至少一支架，连接于该悬浮板与该外框之间，以提供弹性支撑；

一压电陶瓷板，为正方形的型态，具有不大于该悬浮板边长的边长，贴附于该悬浮板的一第一表面上，用以施加电压以驱动该悬浮板弯曲振动；以及一壳体，包括：

一集气板，为周缘具有侧壁的一框体结构，并于内表面更凹陷以构成一集气腔室，用以供该压电致动器设置于该集气腔室中；以及

一底座，封闭设置于该压电致动器的底部，且具有一中空孔洞，该中空孔洞对应于该悬浮板的该中心部而设置；其中，该集气板更具有多个贯穿设置的贯穿孔，当该压电致动器受电压驱动时，该悬浮板亦随的弯曲振动，并将流体自该底座的该中空孔洞传输至该集气腔室，再由该多个贯穿孔排出。

2.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该悬浮板具有介于7.5mm至12㎜的边长。

3.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该悬浮板于一第二表面上具有一凸部。

4.如权利要求3所述微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的该凸部高度是介于0.02mm至0.08mm之间。

5.如权利要求3所述微型流体控制装置，其特征在于，该悬浮板的该凸部为一圆形凸起结构，直径为该悬浮板的最小边长的0.55倍的尺寸。

6.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该至少一支架为一板连接部，用以连接该悬浮板与该外框。

7.如权利要求6所述微型流体控制装置，其特征在于，该板连接部的两端部是彼此相对应、且设置于同一轴线上。

8.如权利要求6所述微型流体控制装置，其特征在于，该板连接部是以介于0～45度的斜角连接于该悬浮板与该外框。

9.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该至少一支架包括有:

一梁部，设置于该悬浮板与该外框之间的一间隙中，其设置的方向是平行于该外框及该悬浮板；

一悬浮板连接部，连接于该梁部与该悬浮板之间；以及

一外框连接部，连接于该梁部与该外框之间，并与该悬浮板连接部彼此相对应、且设置于同一轴线上。

10.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该悬浮板的厚度介于0.1mm至0.4mm之间。

11.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该压电致动器的该压电陶瓷板的厚度介于0.05mm至0.3mm之间。

12.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该底座包括一进气板及一共振片，该进气板具有一第一表面及一第二表面，该第二表面上具有至少一进气孔，该至少一进气孔是贯穿至该第一表面上，该第一表面上亦具有至少一汇流排孔，该至少一汇流排孔是与该至少一进气孔相连通且对应设置，于该至少一汇流排孔的中心交流处是具有一中心凹部，用以将流体由该至少一进气孔输入并引导至该至少一汇流排孔处，再汇流集中至该中心凹部处，且该中心凹部处是可对应构成汇流流体的一汇流腔室，以供流体暂存。

13.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该微型流体控制装置更具有两绝缘片及一导电片，且该两绝缘片是上下夹设该导电片，并对应设置于该压电致动器之上，且该两绝缘片及该导电片的形态大致上对应于该压电致动器的该外框的形态。

14.如权利要求1所述微型流体控制装置，其特征在于，该集气板更具有一基准表面以及多个贯穿孔，且该基准表面上是凹陷设置一第一卸压腔室及一第一出口腔室，且该多个贯穿孔包括一个第一贯穿孔及至少一个第二贯穿孔，而第一贯穿孔的一端与该集气腔室相连通，另一端则分别与该第一卸压腔室相连通，及该至少一个第二贯穿孔的一端是与该第一出口腔室相连通，以及在该第一出口腔室处更进一步增设一凸部结构。