[发明专利]一种离子源的电源系统及离子源有效
| 申请号： | 201610792691.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106206230B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 刁克明 | 申请（专利权）人： | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/248 | 分类号： | H01J37/248;H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电源 离子源 电源系统 屏栅 电流信号反馈 电流信号 加速电源 阴极电源 耦合电源 中和 电源控制器 离子源系统 传送状态 电源电压 电源独立 高效运行 手动调整 自动调谐 阳极 加速栅 离子束 中和器 主阴极 检测 弧板 测量 反馈 保证 | ||
【权利要求书】：
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