[发明专利]一种蓝宝石晶体的生长设备有效
申请号: | 201610790572.3 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN106702490B | 公开(公告)日: | 2020-12-11 |
发明(设计)人: | 滕斌;康森;常慧;王国强;张吉;倪浩然;陈浩;程佳宝 | 申请(专利权)人: | 天通银厦新材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
代理公司: | 银川瑞海陈知识产权代理事务所(普通合伙) 64104 | 代理人: | 陈晓庆 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体 生长 设备 | ||
1.一种蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,包括:
炉体,用于提供蓝宝石晶体的生长环境,
炉盖,盖合于所述炉体上,
坩埚,设于所述炉体内,用于盛放熔体并作为反应容器,
设于所述炉体内,并位于所述坩埚的上方,包括互为对称结构的第一调节板和第二调节板,以及第一推拉杆和第二推拉杆,所述第一调节板和第二调节板相对设置并彼此铰接,所述第一推拉杆的第一端与所述第一调节板铰接,所述第二推拉杆的第一端与所述第二调节板的第一端连接,所述第一推拉杆和第二推拉杆各自的第二端相铰接,所述第一推拉杆和第二推拉杆的铰接轴与穿过所述炉盖并深入所述炉体内的驱动轴相连接,在驱动轴的驱动下,调节所述第一调节板和第二调节板的偏转角度,从而实现对坩埚内固液熔融界面的温度梯度调节;
所述第一调节板和第二调节板朝向所述坩埚的表面为回转面,所述回转面的母线与回转轴之间的夹角为30°-60°;
所述回转面的回转角度为160°-180°;
蓝宝石晶体的生长设备还包括多个加热盘管,多个所述加热盘管分别环绕所述坩埚并自上而下依次排布;
蓝宝石晶体的生长设备还包括第一电极和第二电极,多个所述加热盘管各自的两端分别与所述第一电极和第二电极连接。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,多个所述加热盘管与所述第一电极的连接导线之间分别设有控制开关,并经对应的控制开关控制电流的通断。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,还包括加热盘,所述加热盘设于所述炉体内,用于支撑所述坩埚并对其加热。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述第一调节板和第二调节板之间的铰接轴固定于所述炉体上。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述第一调节板和第二调节板由钨钼合金制成。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述炉体的内壁上自内向外依次设有第一辐射层和第一保温层,所述炉体的底壁上还依次设有第二辐射层和第二保温层,其中,所述第二辐射层朝向所述炉体的内部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天通银厦新材料有限公司,未经天通银厦新材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610790572.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。