[发明专利]太阳能电池硅片的制绒方法有效

申请号：	201610788958.0	申请日：	2016-08-31
公开（公告）号：	CN106328734B	公开（公告）日：	2018-04-06
发明（设计）人：	葛竖坚;翟贝贝;魏晓波;何长春;张文锋	申请（专利权）人：	东方日升新能源股份有限公司
主分类号：	H01L31/0236	分类号：	H01L31/0236
代理公司：	杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙)33261	代理人：	骆文军
地址：	315600 浙江省***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	太阳能电池硅片方法
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【权利要求书】：

1.一种太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：它包括以下步骤：

(1)将HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分别放入到链式制绒机的第一个槽、第二个槽和第三个槽中，且体积比为：HF:HNO3:水＝1:2.92:2.4，KOH:水＝7:120～160，HF:HCL:水＝4:3～7:10；所述水均为纯水；

(2)启动链式制绒机，使得链上的硅片依次通过第一个槽、第二个槽和第三个槽；在第一个槽中每100片硅片通过后，加入HF 260～300ml，加入HNO3 90～140ml；在第二个槽中每100片硅片通过后，加入KOH 5～20ml，加入水50～70ml；在第三个槽中每100片硅片通过后，加入HF 50～90ml，HCL 60～110ml，加入水10～50ml；三个槽中的液体每周更换一次新的。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：所述KOH:水＝7:130～155。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：所述KOH:水＝7:150。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：所述HF:HCL:水＝4:4～6:10。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：所述HF:HCL:水＝4:5.5:10。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：所述第一个槽中每100片硅片通过后，加入HF 285ml，加入HNO3 115ml。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：所述第二个槽中每100片硅片通过后，加入KOH 12ml，加入水60ml。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池硅片的制绒方法，其特征在于：所述第三个槽中每100片硅片通过后，加入HF 70.5ml，HCL 85ml，加入水25ml。

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