[发明专利]一种硅基MEMS微纳通孔结构的制作方法在审
| 申请号： | 201610786575.X | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106335871A | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 焦海龙;赵广宏;李文博;金小锋;张世名;邹江波 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 微纳通孔 结构 制作方法 | ||
【说明书】：
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