[发明专利]一种实现蓝宝石衬底重复利用的垂直LED芯片制备方法有效
| 申请号： | 201610753498.8 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN106252481B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 周朝旭;张保国;潘柏臣 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/00;H01L21/86 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 | 代理人： | 赵凤英 |
| 地址： | 300130 天津市红桥区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 蓝宝石 衬底 重复 利用 垂直 led 芯片 制备 方法 | ||
【说明书】：
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