[发明专利]一种具有大光致伸缩效应器件的制作方法有效
| 申请号： | 201610749279.2 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107256923B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 韩芍娜;赵艳伟;陈凤华;黄海松;赵娜 | 申请（专利权）人： | 郑州工商学院 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/25 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 孙诗雨;董晓慧 |
| 地址： | 451400 河南省郑州市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 大光致 伸缩 效应 器件 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于是按照下述方式制备的：
（1）选择具有取向的单晶作为导电衬底；
（2）在衬底上生长厚度为100~1000 nm的压电薄膜；
（3）在压电薄膜上先生长具有竖直部分和水平部分的L型导电薄膜、再生长绝缘层；在绝缘层上生长厚度为400~600nm的铁电光伏层和电极；
所述的绝缘层采用两步脉冲沉积方式制备：
a. 利用掩膜遮挡导电薄膜的水平部分，生长绝缘层至与导电薄膜的水平部分等高；
b. 撤去掩膜，沉积绝缘层至相应的厚度。
2.根据权利要求1所述的具有光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述导电衬底为具有取向的SrRuO3单晶，所述导电薄膜是SrRuO3薄膜。
3.根据权利要求1所述的具有光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述压电薄膜为锆钛酸铅锶薄膜。
4.根据权利要求1所述的具有光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述绝缘层为TbScO3绝缘层。
5.根据权利要求1所述的具有光致伸缩效应器件的制作方法，其特征在于：所述铁电光伏层为BFO薄膜。
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