[发明专利]一种螺旋线行波管的慢波结构及该慢波结构的制备方法

权利要求书

1.一种螺旋线行波管的慢波结构，其特征在于，所述慢波结构包括从内向外依次连接固定的螺旋线、夹持杆和管壳；

在所述夹持杆内壁面上的与所述螺旋线相接触的有效区域面上设有活性金属化层；

所述螺旋线外壁面上的用于与所述夹持杆内壁面相对应连接固定的连接面为平面设置；

沿所述螺旋线的轴线方向，所述夹持杆的外壁面呈第一斜面设置；所述管壳的内壁面上设有与所述夹持杆的外壁面相对应的第二斜面，所述第一斜面与所述第二斜面匹配地连接固定在一起。

2.根据权利要求1所述的一种螺旋线行波管的慢波结构，其特征在于，所述活性金属化层包括从内向外依次设置的第一金属化层、第二金属化层和第三金属化层；所述第一金属化层的材质为钛，厚度为0.02-0.03μm；所述第二金属化层的材质为钼，厚度为0.04-0.05μm；所述第三金属化层的材质为铜，厚度为4-5μm。

3.根据权利要求1所述的一种螺旋线行波管的慢波结构，其特征在于，沿螺旋线的轴线前端至轴线后端方向，所述第一斜面的倾斜方向呈靠近螺旋线的轴线方向倾斜。

4.根据权利要求1所述的一种螺旋线行波管的慢波结构，其特征在于，所述慢波结构包括沿所述螺旋线周向方向呈均匀排布设置的三个结构相同的夹持杆。

5.一种螺旋线行波管的慢波结构的制备方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

S1、将夹持杆的外壁面加工成斜面，得到第一斜面；沿所述螺旋线的轴线方向，所述第一斜面的倾斜方向呈靠近螺旋线的轴线方向倾斜；

S2、按照过盈量，在与夹持杆的外壁面相对应的管壳的内壁面上加工出与所述第一斜面匹配对应的第二斜面；

S3、在所述夹持杆内壁面上溅射活性金属化层；

S4、将螺旋线外壁面上的用于与所述夹持杆内壁面相对应连接固定的连接面加工成平面；

S6、在冷态下，通过第一斜面与第二斜面的配合，沿所述螺旋线的轴线方向，将螺旋线、夹持杆和管壳预装在一起；

S7、加热管壳，将螺旋线和夹持杆完全插入管壳，获得螺旋线行波管的慢波结构。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，该方法进一步的包括如下步骤：

S5、去除夹持杆内壁面上未与螺旋线相接触的非有效区域面上的活性金属化层。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S7具体为：

加热管壳，待其温度上升至900-950℃后，将螺旋线和夹持杆完全插入管壳，保温3-5分钟，冷却后即获得螺旋线行波管的慢波结构。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S3具体为：

将氧化铍夹持杆装入掩膜模具中，只露出夹持杆上与螺旋线相接触的内壁面，在该夹持杆内壁面上先溅射一层钛膜，再沉积一层钼膜，最后溅射一层铜层，进而在夹持杆内壁面上形成活性金属化层。

9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述过盈量为0.01mm。