[发明专利]一种高质量氮化物外延片的制备方法有效
| 申请号： | 201610739620.6 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN106328772B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王国宏;李志聪;王明洋;戴俊;闫其昂;孙一军 | 申请（专利权）人： | 扬州中科半导体照明有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/12;H01L21/205;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/34 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225009 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 质量 氮化物 外延 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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