[发明专利]薄膜电路带孔瓷片光刻真空夹具在审
| 申请号： | 201610724598.8 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN106154769A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 詹为宇;林晓莉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成飞(集团)公司专利中心 51121 | 代理人： | 郭纯武 |
| 地址： | 610036 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 电路 瓷片 光刻 真空 夹具 | ||
【说明书】：
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