[发明专利]一种避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201610703019.1 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN106405372B | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 范荣伟;陈宏璘;龙吟;顾晓芳 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/307 |
| 代理公司： | 31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 避免 电子束 扫描 过程 产生 电弧 放电 缺陷 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
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