[发明专利]一种用于VAD沉积粉棒的脱水烧结装置及方法

权利要求书

1.一种用于VAD沉积粉棒的脱水烧结装置，包括有立架，置于立架上的上下升降装置，上下升降装置与悬臂架相联，在悬臂架的前端连接有一吊杆，吊杆的下方对应安设加热干燥筒，且吊杆从加热干燥筒顶部伸入加热干燥筒的内腔，加热干燥筒上下方分别设置进气口和出气口，其特征在于所述的吊杆下端连接靶棒套筒，在靶棒套筒内设置加热件。

2.如权利要求1 所述的用于VAD沉积粉棒的脱水烧结装置，其特征在于所述的靶棒套筒包括套筒体，在套筒体上沿轴向开设上下贯通的台阶通孔，上端设置吊杆连接孔，中下方设置靶棒套接孔，在靶棒套接孔内设置加热件。

3.如权利要求2所述的用于VAD沉积粉棒的脱水烧结的装置，其特征在于所述的加热件为石墨电阻加热件，安设于靶棒套接孔内壁，所述靶棒套筒外部设置石墨绝缘保温层。

4.如权利要求1或2所述的用于VAD沉积粉棒的脱水烧结装置，其特征在于所述的加热干燥筒包括玻璃筒体，玻璃筒体的上端配置顶盖，玻璃筒体的底部和上端分别设置进气口和出气口，在玻璃筒体的外周安设有石墨电阻加热装置。

5.如权利要求1 或2所述的用于VAD沉积粉棒的脱水烧结装置，其特征在于所述的吊杆为管状吊杆，管状吊杆的内孔沿轴向分成3个空腔，包括左、右空腔和中间空腔，左、右空腔一个与进水管道相通，另一个与出水管道相通，左右空腔头尾相接，中间空腔安设有导线和导气管，所述的导气管与惰性气体气源相连通。

6.如权利要求5 所述的用于VAD沉积粉棒的脱水烧结装置，其特征在于所述的进、出水管道与冷却水循环装置相连通。

7.一种用于VAD沉积粉棒的脱水烧结方法，其特征在于采用权利要求1-6 中任一脱水烧结装置，对沉积粉棒分以下步骤进行：

将沉积后的待烧结粉棒上端与靶棒套筒相连；

开启上下升降装置将粉棒送入加热干燥筒内，然后开通进气管道和出气管道开启玻璃管内进气、抽气装置，向加热干燥筒内腔送入氯气；

开启靶棒套筒内加热件，将温度逐步升至800~1200℃，同时通过吊杆向靶棒套筒输送保护气体；

开启加热干燥筒外的加热装置，温度设定值900~1200℃，粉棒开始脱水工序；

待粉棒脱水完毕，关闭靶棒套筒内的加热件，保护气体继续吹扫，缓慢升起粉棒，同时将加热干燥筒外部加热装置温度缓慢升至1200~1500℃；

待加热干燥筒外部加热装置温度缓慢升至1200~1500℃，再次缓慢将粉棒下降至热区，待烧结完成将加热装置缓慢降温，同时提起粉棒，关闭进气管道，待烧结棒提出加热干燥筒后关闭靶棒套筒保护气体，烧结结束。