[发明专利]室温溅射沉积柔性AZO透明导电薄膜的方法在审
| 申请号: | 201610665926.1 | 申请日: | 2016-08-15 | 
| 公开(公告)号: | CN106119778A | 公开(公告)日: | 2016-11-16 | 
| 发明(设计)人: | 王新昌;闫震;郭松昌;万志刚;丁万勇;李光辉;刘国龙 | 申请(专利权)人: | 河南安彩高科股份有限公司 | 
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35 | 
| 代理公司: | 郑州立格知识产权代理有限公司 41126 | 代理人: | 王晖 | 
| 地址: | 455000*** | 国省代码: | 河南;41 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 室温 溅射 沉积 柔性 azo 透明 导电 薄膜 方法 | ||
【说明书】:
                
            
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