[发明专利]配置有离子检测器的离子发生器

说明书

本发明提供一种离子发生器，所述离子发生器包括：电离室；耦合至所述电离室的进风口；以及离子电极，所述离子电极的末端部分位于所述电离室内部。所述离子发生器进一步包括与所述离子电极电连接的高压发生器，所述高压发生器用于向所述末端部分施加电离电压，以产生离子。所述离子发生器还包括输出喷嘴和离子检测器，所述输出喷嘴耦合至所述离子室，所述离子检测器用于检测所述离子室中产生的离子。

技术领域

本发明涉及用于产生离子的离子发生器。

背景技术

在工件的生产或装配过程中，可能在工件上产生静电荷，使工件带上静电荷。所述静电荷可能导致不良效应。例如，在电子元件的生产或装配过程中，诸如半导体芯片、夹具的电子部件等可能由于各种原因而带上静电荷。所述静电荷可能损坏所述电子元件。

通常使用离子发生器（也可称为“离子产生器”或“离子产生装置）以驱散所述静电荷。将高压施加到所述离子发生器中电极的末端部分。所述高压利用所述电极周围的空气放电，从而产生数量均衡的正、负离子。然后，利用风扇或空气压缩机将所述电离空气吹至所述工件上。

由于高能离子对所述末端部分的冲击，所述电极的所述末端部分随着时间推移具有腐蚀倾向。图1A示出了所述末端部分随着时间的推移而发生腐蚀的情况。电极50较新，电极51已经使用了一段时间，电极52已经使用了更长一段时间。

除发生腐蚀外，所述电极还受到环境中尘埃颗粒及电离过程中形成的氮化物的污染。图1B–1D示出了装有电极53的离子发生器在9升每分钟的气流速率下持续使用时所述电极53随着时间推移发生污染的情况。图1B是所述电极53的初始图像。图1C是4天后所述电极53的图像。图1D是17天后所述电极53的图像。

由于所述电极周围的电场发生变化，特别是在高气流速率下，所述腐蚀和污染可能打破正离子与负离子之间的平衡。所述腐蚀或污染还可能降低气体电离速率或所述电离发生器排出电离气体的流速。在严重的情况下，甚至可能无法从所述离子发生器中排出电离气体。这些因素可能导致所述离子发生器无法产生足量离子以有效中和所述工件上的所述静电荷。

发明内容

因此，本发明旨在提供改进的离子发生器，所述离子发生器可确定所述电离电极的状况。确定所述电离电极的状况可让用户了解何时更换或清洁所述电离电极，从而避免或减少发生以下情况：所述离子发生器无法产生足量离子以有效中和物体（如：工件）上的静电荷。

于是，本发明提供一种离子发生器，所述离子发生器包括电离室、耦合至所述离子室的进风口和电离电极，所述电离电极的末端部分位于所述电离室内。所述离子发生器还包括高压发生器，所述高压发生器与所述电离电极电连接，所述高压发生器用于向所述末端部分施加电离电压以产生离子。所述离子发生器还包括输出喷嘴和离子检测器，所述输出喷嘴耦合至所述离子室，所述离子检测器用于检测所述离子室中产生的离子。

附图说明

参考详细的说明，综合考虑非限制性实施例和附图，可以更好地理解本发明，其中：

图1A是处于不同腐蚀阶段的三个电极末端部分的图像。

图1B是所述电极的初始图像。

图1C是4天后所述电极的图像。

图1D是17天后所述电极的图像。

图2是根据本发明中实施例的所述离子发生器的立体图。

图3是图2所示离子发生器拆除金属盖板后的立体图。

图4是图2所示离子发生器的剖面侧视图。

图5是图2所示离子发生器的插件组件与所述离子发生器主体分离时的侧视图。

图6是如图5所示的插件组件的立体分解图。