[发明专利]一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造方法

权利要求书

1.一种多层膜层的中灰渐变减光滤镜的制造方法，所述中灰渐变减光滤镜包括基片，所述基片上镀有若干层膜层，所述膜层包括层叠的减反射膜和金属膜，相邻的两个所述金属膜之间设有至少一层所述减反射膜，所述减反射膜的构成材料的折射率大于1.30；所述减反射膜的膜层光学厚度的范围是1～300nm，所述金属膜的膜层光学厚度的范围是1～320nm，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：

(1)将镀膜伞安装到真空室的腔体顶部，所述镀膜伞的旋转轴安装有动力源，所述真空室的腔体底部设有两个镀膜材源，修正板固定在所述真空室内，一端位于两个所述镀膜材源同一侧，采用真空泵将所述真空室抽至预定真空度；

(2)将步骤(1)中的所述修正板取下，在所述镀膜伞下方安装挡板，所述挡板上设有多个对称分布的渐变孔；

(3)所述动力源驱动所述镀膜伞旋转，采用两个所述镀膜材源交替蒸镀所述膜层，所述膜层以预定的光学厚度和预定的次序依次层叠。

2.如权利要求1所述的的制造方法，其特征在于，所述减反射膜的构成材料包括至少一种选自Al₂O₃、AlF₃、BeO、CaF₂、CeF₃、CeO₃、Cr₂O₃、Dy₂O₃、Gd₂O₃、HfO₂、Ho₂O₃、In₂O₃、LaF₃、MgF₂、MgO、NiO、Nd₂O₃、Pb₆O₁₁、SnO₃、SiO、SiO₂、Sm₂O₃、TiO₂、Ta₂O₅、ThiO₂、ZrO₂的化合物或由上述化合物构成的混合物。

3.如权利要求1所述的的制造方法，其特征在于，所述金属膜的构成材料包括至少一种选自Al、Ag、Cr、Ni、Au、Cu、Fe、Zn、Sn、Mo的金属单质或由上述金属单质构成的合金。

4.如权利要求1所述的的制造方法，其特征在于，所述基片上镀有至少两层所述膜层。

5.如权利要求1所述的的制造方法，其特征在于，所述滤镜在波长420～680nm的区间内，反射率的范围是1.50％～2.30％，透过率的范围是47.8％～51.3％。

6.如权利要求1所述的的制造方法，其特征在于，所述滤镜在波长420～680nm的区间内，衰减最大端的反射率的范围是2.5％～3.1％，透过率的范围是11.45％～12.06％，衰减最小端的反射率的范围是1.5％～2.3％，透过率的范围是47.8％～96.3％。

7.如权利要求1所述的的制造方法，其特征在于，所述滤镜为ND镜，在波长420nm-680nm的区间内，在波长580nm处，透过率最大，最大透过率为51.3％，在波长440nm处，透过率最小，最小透过率为47.8％，而在波长420nm-680nm的区间内，平均透过率50.5％；在波长420nm-680nm的区间内，在波长420nm处反射率最大，最大反射率为2.3％，在波长493nm处反射率最小，最小反射率为1.5％，而在波长420nm-680nm的区间内，平均透过率1.8％。