[发明专利]一种玻璃镀膜生产线有效

专利信息
申请号: 201610652023.X 申请日: 2016-08-10
公开(公告)号: CN106282928B 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 陈玉平;杨斌;陈小华;陈娟 申请(专利权)人: 福建新福兴玻璃有限公司
主分类号: C23C14/18 分类号: C23C14/18;C23C14/34;C03C17/00
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 林祥翔;徐剑兵
地址: 350300 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 玻璃物料 隔离装置 隔离板 过渡室 玻璃镀膜 下隔离板 传送辊 传送方向 传送平面 缓冲室 上表面 进口 出口 物料通道 真空系统 抽气口 出口室 溅射室 进口室 延伸 上缘 下缘 斜对 平行 铺设 隔离
【权利要求书】:

1.玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向,依次包括进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室;

所述进口室,进口缓冲室,进口过渡室,溅射室,出口过渡室,出口缓冲室,出口室中铺设有与玻璃物料相平行的传送辊,并设置有与真空系统连接的抽气口;

进口过渡室与出口过渡室设置有隔离装置,所述隔离装置包括上隔离装置与下隔离装置,所述上隔离装置具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板,所述下隔离装置具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板,所述上隔离板的下缘高于传送辊上表面,所述下隔离板的上缘低于传送辊上表面,上隔离板与下隔离板之间形成容玻璃物料通过的物料通道,所述上隔离板与下隔离板正对或斜对玻璃物料传送方向。

2.根据权利要求1所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述上隔离装置包括上底板以及与上底板两端或中部连接的上隔离板,所述下隔离装置包括下底板以及与下底板两端或中部连接的下隔离板。

3.根据权利要求2所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述上隔离装置中,上底板与上隔离板围成中空的上隔离腔,所述下隔离装置中,下底板与下隔离板围成中空的下隔离腔,所述上隔离腔与下隔离腔端部开口,所述进口过渡室与出口过渡室的抽气口位置与上隔离腔与下隔离腔端部相对应。

4.根据权利要求1所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述进口室与出口室与机械真空泵连接,通过机械真空泵抽真空,所述进口缓冲室与出口缓冲室与罗茨泵及机械真空泵连接,通过串联的罗茨泵与机械真空泵抽真空,所述进口过渡室与出口过渡室与分子泵、罗茨泵以及机械真空泵连接,通过串联的分子泵、罗茨泵与机械真空泵抽真空,所述溅射室与分子泵、罗茨泵以及机械真空泵连接,通过串联的分子泵、罗茨泵与机械真空泵抽真空。

5.根据权利要求4所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述进口过渡室与出口过渡室的抽气口包括独立抽气口与并联抽气口,所述并联抽气口较独立抽气口更靠近溅射室的抽气口,并联抽气口与溅射室的抽气口并联抽真空。

6.根据权利要求4所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述进口室与进口缓冲室之间的开门压强,以及出口室与出口缓冲室之间的开门压强为10-30mbar,所述进口缓冲室与进口过渡室之间的开门压强为1-12×10-2mbar。

7.根据权利要求6所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述进口室与进口缓冲室之间的开门压强,以及出口室与出口缓冲室之间的开门压强为15-25mbar,所述进口缓冲室与进口过渡室之间的开门压强为5-8×10-2mbar。

8.根据权利要求7所述的玻璃镀膜生产线,其特征在于,所述进口室与进口缓冲室之间的开门压强,以及出口室与出口缓冲室之间的开门压强为20mbar,所述进口缓冲室与进口过渡室之间的开门压强为7×10-2mbar。

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