[发明专利]一种基于柔性衬底上的压电厚膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201610651540.5 | 申请日： | 2016-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN106252501A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;李桂苗;刘景全;杨春生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/313 | 分类号： | H01L41/313;H01L41/337;H01L41/053;H01L41/113 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 衬底 压电 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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