[发明专利]一种氧化镓单晶用的研磨垫及其制备方法

权利要求书

1.一种氧化镓单晶用的研磨垫，其特征在于，由下而上依次包括研磨垫布基（1）和混合磨粒胶层（2），所述混合磨粒胶层（2）由树脂胶、磨料与水溶性研磨助剂混合而成；所述研磨垫布基（1）为真丝弹力双乔或弹力素绉缎；所述水溶性研磨助剂由赋形剂、界面活性剂和增稠剂混合而成；所述研磨垫的制备方法, 包括以下步骤：步骤1，选研磨垫布基；步骤2，按照质量分数计称取树脂胶25%-40%、磨料5%-10%、水溶性研磨助剂30%-40%、余量为去离子水；步骤3，将上述材料组分按合适比例称取，依次加入树脂胶、研磨助剂和磨料、去离子水搅拌均匀得第一混合物；步骤4，将第一混合物均匀喷涂于研磨垫布基表面，获得研磨垫半成品；步骤5，将研磨垫半成品烘干即得成品研磨垫；所述步骤4中研磨层的厚度为2-8微米。

2.根据权利要求1所述的氧化镓单晶用的研磨垫，其特征在于，所述树脂胶由水溶性丙烯酸聚合物树脂混合水性芳香族聚氨酯树脂或水乳液型聚氨酯树脂中一种或两种。

3.根据权利要求1所述的氧化镓单晶用的研磨垫，其特征在于，所述磨料为金刚石微粉，粒径为0.5-3微米。

4.根据权利要求1所述的氧化镓单晶用的研磨垫，其特征在于,所述赋型剂为山梨糖醇、丙三醇、聚乙二醇PEG-200、聚乙二醇PEG-400、聚乙二醇PEG-600、聚乙二醇800、聚乙二醇1000、聚乙二醇-1500、PEG-2000、PEG-3000、聚丙二醇、聚甘油-10或脂肪酸单甘油酯中的任意一种或几种混合而成；所述界面活性剂为脂肪酰胺磺基琥珀酸单酯、N-月桂酰基肌氨酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸铵、脂肪醇聚氧乙烯醚磺基琥珀酸单酯二钠、脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚磺酸钠、二辛基磺基琥珀酸二钠、二-2-乙基己基磺基琥珀酸钠、月桂基硫酸钠、月桂基硫酸钾、十二烷基苯硫酸盐、α- 烯烃磺酸盐、木质素磺酸盐、全氟丁烷磺酸盐、直链脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯醚、聚氧乙烯脱水山梨醇单油酸酯、异构十碳醇聚氧乙烯醚、异构十三碳醇聚氧乙烯醚或硬脂酸甲酯聚氧乙烯醚中的任意一种或几种混合而成；所述增稠剂可以是羧甲基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基甲基纤维素卡拉胶、黄原胶、羟丙基瓜尔胶、卡波姆等中的任意一种或几种混合而成。

5.根据权利要求1所述的氧化镓单晶用的研磨垫，其特征在于, 步骤5中烘干温度为80-120℃。