[发明专利]一种锑化镓晶体生长除杂装置有效
| 申请号： | 201610615297.1 | 申请日： | 2016-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN106435710B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 郭文斌;徐永宽;张颖武;李璐杰;司华青;霍晓青;董彦辉;练小正;于凯 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 锑化镓 晶体生长 装置 | ||
【说明书】：
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