[发明专利]一种大面积均匀面电子源

权利要求书

1.一种大面积均匀面电子源，其特征在于，包括紫外光源(1)、光刻钢网(2)、紫外光源外壳(3)、第一金阴极夹具组件(5)、第一MCP夹具组件(6)、第二金阴极夹具组件(7)、金阴极(8)、MCP(9)、第二MCP夹具组件(10)、第三MCP夹具组件(13)、MCP夹具与金阴极夹具连接件(14)；

所述紫外光源外壳(3)位于真空室的真空玻璃窗(11)下方并与真空室底盘(4)的外底部通过真空室连接法兰(12)相固连，紫外光源外壳(3)内底部中心设置紫外光源(1)，紫外光源(1)的上方设置光刻钢网(2)；

在真空室内部，真空玻璃窗(11)的上方依次设置金阴极(8)与MCP(9)，其中金阴极(8)通过第一金阴极夹具组件(5)和第二金阴极夹具组件(7)固连在真空室内，其中，第一金阴极夹具组件(5)固定在真空玻璃窗(11)的上方，第二金阴极夹具组件(7)位于第一金阴极夹具组件(5)的内部，并对金阴极(8)供电；MCP(9)通过第一MCP夹具组件(6)、第二MCP夹具组件(10)和第三MCP夹具组件(13)固连在真空室内，其中，第一MCP夹具组件(6)位于第一金阴极夹具组件(5)的上方并通过MCP夹具与金阴极夹具连接件(14)固定，第三MCP夹具组件(13)位于第一MCP夹具组件(6)的内侧并用于给MCP(9)供电，第二MCP夹具组件(10)位于MCP(9)的上方，并对其输出端供电。

2.根据权利要求1所述的大面积均匀面电子源，其特征在于，第一金阴极夹具组件(5)的材料为聚四氟乙烯，第二金阴极夹具组件(7)的材料为304不锈钢。

3.根据权利要求1所述的大面积均匀面电子源，其特征在于，第一MCP夹具组件(6)的材料为聚四氟乙烯，第二MCP夹具组件(10)和第三MCP夹具组件(13)的材料为304不锈钢。

4.根据权利要求1所述的大面积均匀面电子源，其特征在于，所述光刻钢网(2)的材料为304不锈钢。