[发明专利]三维红外探测器像元结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201610605232.9 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106448972B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01C7/04 | 分类号： | H01C7/04;H01C17/075;H01C17/28 |
| 代理公司： | 31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吴世华;尹英<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三维 红外探测器 结构 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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