[发明专利]半导体结构及其制造方法在审
申请号: | 201610600300.2 | 申请日: | 2016-07-27 |
公开(公告)号: | CN106495086A | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 郑钧文;朱家骅;赖飞龙;林详淇 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81C3/00;G01N27/00;G01N27/12 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人: | 章社杲,李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 结构 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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