[发明专利]新聚合物和光致抗蚀剂组合物在审
| 申请号： | 201610596762.1 | 申请日： | 2011-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106125506A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | E·阿恰达;刘骢;C-B·徐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;C08F220/38;C08F220/18;C08F220/32;C08F220/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 光致抗蚀剂 组合 | ||
【说明书】：
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