[发明专利]一种复杂曲面面形误差评价方法在审
| 申请号： | 201610590652.4 | 申请日： | 2016-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN106840022A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张学军;曾雪锋;薛栋林;李锐钢;郑立功 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 李爱英,仇蕾安 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复杂 曲面 误差 评价 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种复杂曲面面形误差评价方法，其特征在于，包括以下方法：
步骤一、对复杂曲面进行干涉检测获得面形数据；
步骤二、矫正面形数据的投影畸变，使面形数据各个方向的空间分辨率一致；
步骤三、对矫正后的面形数据采用zernike多项式拟合，获得低频误差；根据zernike多项式系数Zi，计算低频误差评价指标EL；其中，Ci表示各系数的权重；
步骤四、将面形数据去除低频误差，再通过高通滤波滤除高频误差，剩下中频误差；
步骤五、对中频误差采用Slope RMS指标进行评价；
步骤六、利用BRDF散射模型计算高频误差的散射率，即得到高频误差的评价指标；
步骤七、若以上三种评价指标中任意一项超过预设的标准，则复杂曲面的面形误差不合格。
2.如权利要求1所述的一种复杂曲面面形误差评价方法，其特征在于，所述低频误差的空间长度长于1/12有效口径。
3.如权利要求1所述的一种复杂曲面面形误差评价方法，其特征在于，所述中频误差的空间长度为1/12～1/128有效口径。
4.如权利要求1所述的一种复杂曲面面形误差评价方法，其特征在于，所述高频误差的空间长度小于1/128有效口径。
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