[发明专利]一种标称高度10μm-100μm台阶高度标准样块的制备方法有效
| 申请号： | 201610578470.5 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN106017385B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 冯亚南;李锁印;韩志国;吴爱华;赵琳;许晓青;梁法国 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 13120 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 标称 高度 10 100 台阶 标准 制备 方法 | ||
【说明书】：
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