[发明专利]多孔氮化硅支撑膜窗格的制备有效
| 申请号: | 201610577013.4 | 申请日: | 2016-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN105977122B | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
| 发明(设计)人: | 时金安;谷林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
| 代理公司: | 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 | 代理人: | 刘丹妮 |
| 地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多孔 氮化 支撑 膜窗格 制备 | ||
【权利要求书】:
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