[发明专利]一种加热装置及加热方法在审
| 申请号: | 201610570473.4 | 申请日: | 2016-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN106231696A | 公开(公告)日: | 2016-12-14 |
| 发明(设计)人: | 陆飞 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号: | H05B3/00 | 分类号: | H05B3/00;H05B1/02 |
| 代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人: | 杨立;陈振玉 |
| 地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 加热 装置 方法 | ||
【说明书】:
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