[发明专利]变压器及其制造方法

权利要求书

1.一种变压器，其特征在于，包括衬底、绝缘部、第一绕组以及第二绕组，所述第一绕组的端部以及第二绕组的端部均与外部电路相连接，

所述衬底的第一表面开设有至少一个螺旋形凹槽，所述第一绕组包括至少一个第一螺旋形线圈，所述至少一个螺旋形凹槽的数量与所述至少一个第一螺旋形线圈的数量相同，所述至少一个第一螺旋形线圈与所述至少一个螺旋形凹槽相匹配，第一螺旋形线圈对应设置于所述螺旋形凹槽内，

所述第二绕组包括至少一个第二螺旋形线圈，所述至少一个第二螺旋形线圈均设置于所述绝缘部内，所述第一绕组与所述第二绕组之间填充有绝缘材料，所述绝缘部位于所述衬底的第一表面。

2.根据权利要求1所述的变压器，其特征在于：所述至少一个第一螺旋形线圈与所述衬底之间设置有绝缘层。

3.根据权利要求1所述的变压器，其特征在于：所述第一绕组还包括第一通路以及第二通路，所述第一通路以及第二通路均设置于所述绝缘部内，所述第一通路的一端与所述至少一个第一螺旋形线圈的一端相连接，所述第一通路的另一端与所述外部电路连接，所述第二通路的一端与所述至少一个第一螺旋形线圈的另一端相连接，所述第二通路的另一端与所述外部电路连接。

4.根据权利要求3所述的变压器，其特征在于：所述绝缘部还包括第一键合区和第二键合区，所述第一通路的另一端与所述第一键合区连接，所述第二通路的另一端与所述第二键合区连接，所述第一键合区以及第二键合区均与外部电路连接。

5.根据权利要求1所述的变压器，其特征在于：所述第一绕组还包括至少一个第三螺旋形线圈，所述至少一个第三螺旋形线圈设置于所述绝缘部内，所述至少一个第三螺旋形线圈的数量与所述至少一个第一螺旋形线圈的数量相同，所述至少一个第三螺旋形线圈的靠近第三螺旋形线圈的中心的一端与所述至少一个第一螺旋形线圈的靠近第一螺旋形线圈的中心的一端对应连接，所述至少一个第一螺旋形线圈的远离所述第一螺旋形线圈的中心的一端以及所述至少一个第三螺旋形线圈的远离所述第三螺旋形线圈的中心的一端均与外部电路连接。

6.根据权利要求5所述的变压器，其特征在于：所述绝缘部还包括第三键合区和第四键合区，所述至少一个第一螺旋形线圈的远离所述第一螺旋形线圈的中心的一端与所述第三键合区连接，所述至少一个第三螺旋形线圈的远离所述第三螺旋形线圈的中心的一端与所述第四键合区连接，所述第三键合区以及第四键合区均与外部电路连接。

7.根据权利要求5所述的变压器，其特征在于：所述第一螺旋形线圈的导线的厚度大于第三螺旋形线圈的导线的厚度。

8.根据权利要求1所述的变压器，其特征在于：所述至少一个第二螺旋形线圈由一层或多层金属组成，所述至少一个第二螺旋形线圈的两端分别连接第五键合区和第六键合区，所述第五键合区以及第六键合区均与外部电路连接。

9.根据权利要求1所述的变压器，其特征在于：所述至少一个第一螺旋形线圈的数量为两个，所述至少一个第二螺旋形线圈的数量为两个。

10.一种制造如权利要求1至9任一项变压器的制造方法，其特征在于，所述方法包括：

在衬底的第一表面形成螺旋形凹槽；

在所述螺旋形凹槽的表面形成第一绝缘层；

以金属材料填充所述螺旋形凹槽；

通过平坦化去除所述第一表面的金属材料以形成第一螺旋形线圈；

在所述第一表面形成绝缘部。