[发明专利]新型热处理设备有效
| 申请号： | 201610565610.5 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106141424B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·莫法特;道格拉斯·E·霍姆格伦;塞缪尔·C·豪厄尔斯;埃德里克·唐;布鲁斯·E·亚当斯;季平·李;阿伦·缪尔·亨特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/03;B23K26/06;B23K26/08;B23K26/12;H01L21/268;B23K26/0622;H01S3/00;B23K101/40 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学系统 递送 衬底 激光 新型热处理 二维形状 设备描述 退火区域 能量场 能量源 投射 | ||
【说明书】：
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