[发明专利]压电马达、驱动装置、机器人及打印机

权利要求书

1.一种压电马达，其特征在于，具备：

压电元件；

包括所述压电元件的振动部；

设置于所述振动部的突起部；以及

与所述突起部接触并被驱动的被驱动体，

所述突起部的杨氏模量E1与所述被驱动体的杨氏模量E2的关系为：E1≠E2，

所述突起部和所述被驱动体含有氧化铝，

所述突起部和所述被驱动体中的至少一方含有氧化镁。

2.根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于，

所述突起部和所述被驱动体以互不相同的比例含有所述氧化镁。

3.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于，

所述突起部的杨氏模量E1与所述被驱动体的杨氏模量E2的关系为：E1＜E2。

4.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于，

所述突起部的杨氏模量E1与所述被驱动体的杨氏模量E2的关系为：E1＞E2。

5.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于，

所述突起部和所述被驱动体由不同的材料构成。

6.根据权利要求1或2所述的压电马达，其特征在于，

至少从相互抵接的各自的表面部到200nm的深度的区域的杨氏模量为所述杨氏模量E1或者所述杨氏模量E2。

7.一种机器人，其特征在于，

具备权利要求1～6中任一项所述的压电马达的机构。

8.一种驱动装置，其特征在于，

具备权利要求1～6中任一项所述的压电马达的机构。

9.一种电子部件输送装置，其特征在于，

具备权利要求1～6中任一项所述的压电马达的机构。

10.一种打印机，其特征在于，

具备权利要求1～6中任一项所述的压电马达的机构。