[发明专利]一种硅片传输手动机械手

权利要求书

1.一种硅片传输手动机械手，其特征在于：包括机械手座(100)，升降旋转机构(200)和取放片机构(300)，所述机械手座(100)布置在机械手底部，为机械手的基座；所述升降旋转机构(200)布置在机械手座(100)上方，可在机械手座(100)上调节安装高度，由M4顶丝固定，具有升降和旋转两自由度的运动；所述取放片机构(300)安装在升降旋转机构(200)上方，其机械臂(301)内部开通长孔，通过调节通气杆(304)可实现机械臂(301)取放片台真空的得失，从而实现硅片的取片与放片；

所述升降旋转机构(200)由中轴(201)、套筒(202)、转轴(203)、弹簧(204)、调节圆片(205)、限位盖(206)、限位筒(207)、M3顶丝(208)组成；所述中轴(201)安装在机械手座(100)上，并可以调节安装高度，由M4顶丝锁紧；所述套筒(202)其内螺纹与中轴外螺纹连接；所述转轴(203)安装在套筒(202)内，其与中轴(201)通过弹簧(204)连接，转轴(203)可以绕套筒(202)中心轴旋转，同时可在套筒(202)内做升降运动，弹簧(204)可对其下降运动进行复位；弹簧(204)与套筒(202)之前安装调节圆片(205)，可对弹簧的硬度进行调整；所述限位盖(206)其内螺纹与套筒(202)外螺纹连接，对中轴(201)的运动起上限位的作用；所述限位筒(207)套在限位盖(206)外侧，由M3顶丝(208)锁紧，其对机械手转动的位置起限位作用。

2.根据权利要求1所述的一种硅片传输手动机械手，其特征在于：所述取放片机构(300)由机械臂(301)、把手盖(302)、气嘴(303)、通气杆(304)、密封圈(305)、轴端连接件(306)、M2顶丝(307)、弹簧(308)组成，所述机械臂(301)固连在转轴(203)上，内部加工通气长孔，下端圆面加工通气沟槽，实现硅片的吸附；所述把手盖(302)固连在机械臂(301)上，方便人手操作；所述气嘴(303)安装在机械臂下方，实现真空气源的供气；所述通气杆(304)安装在机械臂(301)内部，其独特的设计可实现真空气体的通断；所述密封圈(305)镶在通气杆(304)上，防止漏气；所述轴端连接件(306)安装在通气杆(304)两端，采用M2顶丝(307)锁紧，方便人手对通气杆(304)的操作；所述弹簧(308)套在通气杆(304)上，一端接触轴端连接件(306)端面，另一端接触机械臂(301)侧端面，实现气体通断操作时的复位动作。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅片传输手动机械手，其特征在于：升降旋转机构(200)可实现机械手升降和旋转两自由度的运动，同时其限位筒(207)可对机械手取片与放片的位置进行限位；取放片机构(300)可实现硅片的取片与放片的动作，其机械臂(301)下端圆面加工通气沟槽，通气杆(304)在机械臂(301)内部处于不同位置时可实现机械臂(301)下端圆面真空的通断。

4.根据权利要求1或2所述的一种硅片传输手动机械手，其特征在于：该机械手可与光刻机及硅片预对准台配合使用，根据光刻机与硅片预对准台的位置，确定机械手操作面高度、机械臂(301)的长度以及限位筒(207)的开口角度。