[发明专利]一种超声外场作用下的TSV电镀方法及系统在审
| 申请号： | 201610548373.1 | 申请日： | 2016-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN106011962A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 王福亮;肖红彬;王峰;李军辉;王彦;朱文辉 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C25D5/20 | 分类号： | C25D5/20;C25D7/12;C25D21/12 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 杨萍 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 超声 外场 作用 tsv 电镀 方法 系统 | ||
【说明书】：
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