[发明专利]一种多个匀胶单元的排废系统有效
| 申请号: | 201610548002.3 | 申请日: | 2016-07-12 |
| 公开(公告)号: | CN107608180B | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
| 发明(设计)人: | 高晓旭 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;B05C11/10 |
| 代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 白振宇 |
| 地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多个匀胶 单元 系统 | ||
1.一种多个匀胶单元的排废系统,其特征在于:包括主体安装板(10)及分别安装在主体安装板(10)上的匀胶单元(1)、集液盒(3)、排废盒(4)、气控隔膜泵(6),其中匀胶单元(1)为多个、均布于所述主体安装板(10)上,每个所述匀胶单元(1)外均设有收集杯(2),所述集液盒(3)位于各匀胶单元(1)的一侧,各所述匀胶单元(1)的背喷排废口、去边排废口以及各所述收集杯(2)的排废口分别与集液盒(3)密封连接,所述集液盒(3)的一端通过清洗管路与设备厂务口集中供应的清洗液相连通,并在该清洗管路上设有控制清洗管路通断的气动药液阀(7),所述集液盒(3)的另一端与排废盒(4)相连通,该排废盒(4)上安装有实时监测排废盒(4)内部废液液位的液位传感器(5),所述排废盒(4)的出口处连接有气控隔膜泵(6),该排废盒(4)内的废液液位触发液位传感器(5)后通过所述气控隔膜泵(6)排出;
各所述匀胶单元(1)的背喷排废口及去边排废口通过卡套接头与集液盒(3)密封连接,各所述匀胶单元(1)的收集杯(2)的排废口通过密封垫(8)及密封固定块(9)与集液盒(3)密封连接,所述收集杯(2)可自由取下;
所述密封固定块(9)安装在集液盒(3)上,该密封固定块(9)与集液盒(3)之间设有所述密封垫(8),所述收集杯(2)的排废口穿过密封固定块(9)、密封垫(8),插入所述集液盒(3)中。
2.按权利要求1所述多个匀胶单元的排废系统,其特征在于:所述集液盒(3)沿主体安装板(10)的长度方向、由连接清洗液的一端向连接排废盒(4)的另一端向下倾斜地安装在主体安装板(10)上。
3.按权利要求1所述多个匀胶单元的排废系统,其特征在于:所述集液盒(3)的另一端通过密封法兰连接到排废盒(4)上,该排废盒(4)的出口处为内腔的最低点。
4.按权利要求1所述多个匀胶单元的排废系统,其特征在于:所述匀胶单元(1)、收集杯(2)、集液盒(3)、排废盒(4)及气控隔膜泵(6)组成了防止废液飞溅并及时将废液从匀胶单元(1)内排出的导流内腔。
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