[发明专利]光谱仪及其制作方法有效
| 申请号: | 201610546301.3 | 申请日: | 2016-07-12 |
| 公开(公告)号: | CN107607197B | 公开(公告)日: | 2021-08-31 |
| 发明(设计)人: | 洪健翔 | 申请(专利权)人: | 台湾超微光学股份有限公司 |
| 主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/28;G01N21/01;G01N21/25 |
| 代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇;李有财 |
| 地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光谱仪 及其 制作方法 | ||
1.一种光谱仪,其特征在于,包括:
一输入部,用以接收一光学讯号;
一绕射光栅,配置于来自该输入部的该光学讯号的传递路径上,且用以将该光学讯号分离成多个光谱分量;
一影像感测器,配置于至少部分的该些光谱分量的传递路径上;以及
一波导装置,包括:
一第一反射面;以及
一第二反射面,其中该第一反射面与该第二反射面之间形成一波导空间,该光学讯号从该输入部经由该波导空间传递至该绕射光栅,该至少部分的该些光谱分量经由该波导空间传递至该影像感测器;
其中,该波导装置上形成有至少一开口,位于该绕射光栅与该影像感测器之间且位于该些光谱分量的传递路径正投影至该第一反射面的位置,上述开口实质上平行于该第一反射面与该第二反射面的至少其中之一,且该些光谱分量有部分从该开口发散至该波导空间之外而不射入该影像感测器。
2.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,该波导装置更包括至少一延伸段,从该波导空间的末端往该影像感测器延伸,以定义出位于该末端与该影像感测器之间的上述开口。
3.如权利要求2所述的光谱仪,其特征在于,该波导装置包括:
一第一反射镜,具有该第一反射面,且包括一波导部及与该波导部连接的上述延伸段,其中该波导部朝向该影像感测器的感测面的出光端定义出该波导空间的该末端;以及
一第二反射镜,具有该第二反射面,其中该第一反射面朝向该第二反射镜,且该第二反射面朝向该第一反射镜。
4.如权利要求3所述的光谱仪,其特征在于,该出光端上的多个不同位置至该影像感测器的距离不完全相同。
5.如权利要求2所述的光谱仪,其特征在于,上述延伸段抵靠该影像感测器,以使该末端与该影像感测器之间形成上述开口。
6.如权利要求2所述的光谱仪,其特征在于,上述延伸段抵靠与该影像感测器相连的元件,以使该末端与该影像感测器之间形成上述开口。
7.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,该开口在平行于该第一反射面与该第二反射面的至少其中之一的延伸方向相对于该影像感测器的感测面倾斜。
8.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,该波导装置还形成另一开口,位于该输入部与该绕射光栅之间,其中该波导装置包括至少一延伸段,从该波导空间的末端往该输入部延伸,以定义出位于该末端与该输入部之间的该另一开口。
9.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,该绕射光栅为一凹面光栅,且将该至少部分的该些光谱分量聚焦于该影像感测器的感测面。
10.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,上述开口在光波传导的方向上的宽度会影响该至少部分的该些光谱分量的弯月形分布,该影像感测器的感测面于平行于该第一反射面的法线的方向上的宽度会影响该影像感测器的积分范围,由该输入部射入该波导空间的该光学讯号在平行于该第一反射面的法线的方向的发散半角会影响该弯月形的扩张,通过上述开口在光波传导的方向上的该宽度、该发散半角与该感测面于平行于该第一反射面的法线的方向上的宽度相配合,上述开口在光波传导的方向上的该宽度允许该光学讯号与该些光谱分量的至少其中之一有部分沿平行于该第一反射面的法线的方向发散,使该发散半角衍生的该弯月形分布的两个尾部大致上不落入该影像感测器的该积分范围中。
11.如权利要求10所述的光谱仪,其特征在于,上述开口在光波传导的方向上的该宽度大于或等于1毫米。
12.如权利要求11所述的光谱仪,其特征在于,上述开口在光波传导的方向上的该宽度是落在从1毫米至5毫米的范围中。
13.如权利要求1所述的光谱仪,其特征在于,上述开口包括一封闭开口。
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