[发明专利]控制晶圆进出大气真空转换腔室方法及大气真空转换腔室

权利要求书

1.一种控制晶圆进出大气真空转换腔室方法，其特征在于，包括：

步骤S1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置和第二大气真空转换腔室的第二位置是否都有晶圆，是则执行步骤S2，否则执行步骤S3至步骤S4，其中第一位置和第二位置用于放置分别进入第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室并且等待进入相应工艺腔室的晶圆；

步骤S2：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作；

步骤S3：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤S4：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆，否则往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆，操作完成后返回步骤S1。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2包括：

步骤S2-1：打开抽气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行抽真空操作，关闭抽气阀；

步骤S2-2：打开第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀；

步骤S2-3：将第一位置上的晶圆和第二位置上的晶圆移入工艺腔室；

步骤S2-4：判断是否有晶圆要离开工艺腔室，是则将工艺腔室内的晶圆移入第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置；

步骤S2-5：关闭第一大气真空转换腔室的真空隔离阀和第二大气真空转换腔室的真空隔离阀。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述步骤S3包括：

步骤S3-1：判断第一大气真空转换腔室的第三位置或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时下降；

步骤S3-2：打开充气阀，同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作，关闭充气阀；

步骤S3-3：控制第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室的升降机构同时上升。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述步骤S4包括：

步骤S4-1：判断第一大气真空转换腔室的第一位置是否有晶圆，是则执行步骤S4-2至步骤S4-5，否则执行步骤S4-6至步骤S4-9；

步骤S4-2：打开第二大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-3：往第二大气真空转换腔室的第二位置放入晶圆；

步骤S4-4：判断第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则将第四位置上的晶圆拿出；

步骤S4-5：关闭第二大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1；

步骤S4-6：打开第一大气真空转换腔室的大气隔离阀；

步骤S4-7：往第一大气真空转换腔室的第一位置放入晶圆；

步骤S4-8：判断第一大气真空转换腔室的第三位置是否有晶圆，是则将第三位置上的晶圆拿出；

步骤S4-9：关闭第一大气真空转换腔室的大气隔离阀，返回步骤S1。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

步骤S01：判断是否有晶圆待进入工艺腔室，是则执行步骤S1，否则执行步骤S5；

步骤S5：判断第一大气真空转换腔室的第三位置和/或第二大气真空转换腔室的第四位置是否有晶圆，是则执行步骤S6；

步骤S6：同时对第一大气真空转换腔室和第二大气真空转换腔室进行充气操作；

步骤S7：将第三位置和/或第四位置上的晶圆拿出。