[发明专利]一种高速往复运动平台有效
申请号: | 201610543431.1 | 申请日: | 2016-07-11 |
公开(公告)号: | CN106208594B | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 刘文斌;谭熠;高喆;王文浩;冯春华 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H02K33/02 | 分类号: | H02K33/02 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人: | 陈波 |
地址: | 100084 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滑动组件 复位组件 高速往复运动 控制组件 驱动组件 导管 导轨 步进电机驱动 嵌入式控制器 激光收发器 石英玻璃管 光栅 平移 电机驱动 多级线圈 配套电路 偏心螺母 牵引环套 压缩气体 依次布置 真空操作 支撑组件 导磁性 导轨轴 复位 丝杠 套在 紧凑 驱动 计算机 | ||
【权利要求书】:
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