[发明专利]一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片有效
| 申请号： | 201610538955.1 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN106019426B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 于天燕;成效春;蒋林;刘定权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 基底 可见光 红外 波段 狭缝 保护 | ||
【权利要求书】：
1.一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，所述的保护片对480-700nm波段的中性分光，同时对400-440nm、800-1100nm的宽光谱波段实现高透，它的结构为:在蓝宝石基底(2)的入射面上有光谱选择与能量调控多层膜(1)、在蓝宝石基底(2)的背面有宽光谱减反射膜(3)，其特征在于：
所述的光谱选择与能量调控多层膜(1)的膜系结构为：
基底/3.069H1.805L.293H1.316L(.293L.993H.824L)22.874H 1.505L/空气所述的宽光谱减反射膜(3)的膜系结构为：
基底/.489H.233L.984H.295L.497H 1.249L/空气
式中：L表示光学厚度为λ0/4的SiO2膜层；H表示光学厚度为λ0/4的Ta2O5膜层；λ0为中心波长；H、L前的数字为λ0/4光学厚度的比例系数乘数；指数2表示膜堆周期数。
2.根据权利要求1所述的一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，其特征在于：所述的Ta2O5膜层和SiO2膜层采用离子辅助电子束蒸发沉积；膜层制备过程中沉积温度控制在250℃。
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