[发明专利]一种基于钼基底的电子控制栅网及制备方法

权利要求书

1.一种基于钼基底的电子控制栅网，其特征在于，采用三环多轮辐球面形状结构。

2.一种制备权利要求1所述的基于钼基底的电子控制栅网的方法，其特征在于，包括如下步骤：

a)将钼基毛坯片放入900～950℃氢炉内退火，保温3～5分钟；

b)将所述步骤a)制得的钼基毛坯片放入特制模具冲压栅网呈球面形状；

c)将所述步骤b)冲压好的钼基球面栅网毛坯片放入900～950℃氢炉内退火，保温20～25分钟；

d)将所述步骤c)冲压好的钼基球面栅网毛坯片，采用电火花精密加工一次成型三环多轮辐栅网结构；

e)将所述步骤d)制得的钼基三环多轮辐栅网放入1000～1100℃氢炉内退火定型，保温5～10分钟；

f)将所述步骤e)制得钼基三环多轮辐栅网进行化学去油清洗；

g)将所述步骤f)制得的钼基三环多轮辐栅网放置于电解溶液中进行电解抛光后获得电子控制栅网。

3.根据权利要求2所述的一种基于钼基底的电子控制栅网的制备方法，其特征在于，所述步骤g)所述的电子控制栅网的直径为6-12mm，厚度为0.05-0.1mm，材料采用真空熔炼钼，所述真空熔炼钼的牌号为Mo1。