[发明专利]加速度传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种加速度传感器，包括：

移动电极，其包括在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向中的至少一个方向上延伸、并彼此连接的多个平面图案；以及

与所述移动电极形成电容的对置电极，

其中，所述多个平面图案包括：

第一框架图案；

将所述移动电极固定到周围结构的第一锚固件图案；

第一弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述第一锚固件图案，并且拉伸方向为所述第一方向；

第二弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述第一锚固件图案，并且拉伸方向为所述第二方向；

翼形件图案；以及

第三弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述翼形件图案，并且拉伸方向为与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向，并且

加速度是根据所述电容的变化测量的。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其中：

所述对置电极为多个，

所述对置电极根据所述第一方向、第二方向和第三方向中的测量目标方向而选择，并且

所述测量目标方向的加速度根据所选对置电极和所述移动电极之间的电容的变化来测量。

3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其中，所述第三弹簧图案具有包围所述翼形件图案的外部的形状。

4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其中，所述第三弹簧图案与所述翼形件图案的中心连接。

5.根据权利要求4所述的加速度传感器，其中，所述第一框架图案在所述第一方向上与所述第一弹簧图案连接，并在所述第二方向上与所述第二弹簧图案连接。

6.根据权利要求5所述的加速度传感器，其中：

所述第一锚固件图案和所述第一框架图案为多个，并且

第一锚固件图案位于两个相邻第一框架图案之间。

7.根据权利要求6所述的加速度传感器，其中，所述多个平面图案还包括：

将所述移动电极固定到所述周围结构的第二锚固件图案；

第二框架图案，其位于所述第二锚固件图案和对应于所述第二锚固件图案的所述第一锚固件图案之间；

连接所述第一锚固件图案和所述第二框架图案的第四弹簧图案；以及

连接所述第二框架图案和所述第二锚固件图案的第五弹簧图案。

8.根据权利要求7所述的加速度传感器，其中，所述第二框架图案包括多个梳齿电极。

9.根据权利要求8所述的加速度传感器，其中，所述多个梳齿电极在与连接所述第一锚固件图案和所述第二锚固件图案的方向垂直的方向上延伸。

10.根据权利要求9所述的加速度传感器，其中，所述多个平面图案具有相同的材料成分。

11.一种用于制造加速度传感器的方法，包括以下步骤：

形成平面电极层；以及

通过使用一个掩模，将所述平面电极层图案化以形成移动电极，

其中，所述移动电极包括在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向中的至少一个方向上延伸、并彼此连接的多个平面图案，并且

其中，所述多个平面图案包括：

第一框架图案；

将所述移动电极固定到周围结构的第一锚固件图案；

第一弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述第一锚固件图案，并且拉伸方向为所述第一方向；

第二弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述第一锚固件图案，并且拉伸方向为所述第二方向；

翼形件图案；以及

第三弹簧图案，其连接所述第一框架图案和所述翼形件图案，并且拉伸方向为与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，在形成所述移动电极的步骤中，一起形成与所述移动电极形成电容的对置电极。