[发明专利]用于MEMS显示器的光调制器

权利要求书

1.一种机电显示元件，包括：

第一静电致动器和第二静电致动器以及具有第一端和第二端的遮光板，所述遮光板使用附接在所述第一端和所述第二端处的多个支持架被支承在基底的表面上，附接在所述遮光板的所述第一端处的支持架的纵向方向相对于附接在所述遮光板的所述第二端处的支持架的纵向方向倾斜，并且附接在所述遮光板的所述第一端和所述第二端处的所述支持架的纵向方向相对于所述基底的表面倾斜，

其中，所述第一静电致动器向所述遮光板施加力，并且将附接在所述第一端处的所述支持架拉到相对于所述基底的表面接近直立的位置并且将所述遮光板移动到第一位置，以及所述第二静电致动器向所述遮光板施加力，并且将附接在所述第二端处的所述支持架拉到相对于所述基底的表面接近直立的位置并将所述遮光板移动到第二位置。

2.如权利要求1所述的机电显示元件，其中所述第一静电致动器和第二静电致动器在实质上相同的方向上各自向所述遮光板施加力(314，316)，并且在相反的方向上(315，317)相对于所施加的力横向地移动所述遮光板。

3.如权利要求1所述的机电显示元件，还包括第一电极和第二电极，其中所述遮光板由导电材料形成，并且所述第一电极和所述遮光板形成所述第一静电致动器，而所述第二电极和所述遮光板形成所述第二静电致动器。

4.如权利要求1所述的机电显示元件，还包括在所述遮光板上形成的第一电极(405)和第二电极(404)，并且其中所述第一电极(405)与导电层(415)一起形成所述第一静电致动器，并且所述第二电极(404)与所述导电层(415)一起形成所述第二静电致动器。

5.如权利要求1所述的机电显示元件，其中所述遮光板包括第一电极和第二电极，以及其中附接在所述遮光板的所述第一端处的所述支持架提供从所述基底的表面到所述第一电极的第一电连接，而附接在所述遮光板的所述第二端处的所述支持架提供从所述基底的表面到所述第二电极的第二电连接。

6.如权利要求1所述的机电显示元件，其中所述支持架是实质上笔直的，且附接在所述第一端处的支持架是实质上彼此平行的，而附接在所述第二端处的支持架是实质上彼此平行的。

7.如权利要求1所述的机电显示元件，其中所述遮光板包括光吸收表面。

8.如权利要求1所述的机电显示元件，其中所述遮光板包括光吸收第一表面和光反射第二表面。

9.如权利要求1所述的机电显示元件，其中每个所述支持架与所述基底的表面形成在70度到85度之间的角。

10.如权利要求1所述的机电显示元件，其中所述遮光板包括有斜角的边缘。