[发明专利]检查装置及被处理物检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，包括：

支撑部，支撑被处理物；

第一观察部，配置在所述支撑部上侧，并且利用电子束生成所述被处理物的图像信息及成分信息中的至少一种；

第二观察部，配置在所述支撑部的上侧，并且以比所述第一观察部低的倍率生成所述被处理物的三维图像信息；

工作台，上部设置有所述支撑部；

去除部，配置在所述支撑部的上侧，利用激光束选择性地去除形成在所述被处理物上部的膜的一部分；

检查部，配置在所述支撑部上侧，并且接触于所述被处理物的元件以收发信号；

光学部，在所述支撑部上侧向着所述检查部配置，从而可观察所述检查部；

安装部，设置在所述工作台，并且安装并支撑所述去除部、检查部、光学部、第一观察部及第二观察部；及

控制部，利用由所述光学部观察到的图像，以控制所述检查部的移动；

其中，所述检查部具有向所述支撑部向下倾斜配置的多个探头；

所述控制部控制所述去除部向所述被处理物照射激光束，使形成在所述被处理物上部的动作元件上形成多个孔，以使所述动作元件的栅电极、源极及漏极向上侧露出；并通过控制所述探头与所述露出的位置接触来检查所述动作元件的动作；

所述控制部还包括：动作控制部，从由所述光学部观察到的所述探头的图像生成所述探头的端部坐标，并对比所述探头的端部坐标与基准坐标，判断所述探头与所述动作元件的栅电极、源极及漏极的露出位置是否接触，利用判断结果控制所述探头移动；

其中，安装部为，能够以第一轴方向、第二轴方向及第三轴方向可移动地形成并设置在工作台的上部面。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述控制部包括：收集部，接收并分类由所述第一观察部及第二观察部生成的信息与所述检查部的检查结果信息；

储存部，接收并保存由所述收集部分类的信息。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述第一观察部包括：

柱，内部形成真空；

电子束发射器，形成在所述柱内部，并将电子束放射于所述被处理物；

信号检测器，形成在所述柱内部，以获取从所述被处理物放射的电子及X射线中至少一种信号。

4.一种被处理物检查方法，其特征在于，包括：

配置已确认检查区域的被处理物的过程；

将激光照射于所述被处理物，使所述检查区域的动作元件或连接于所述检查区域的动作元件上形成多个孔，并使所述动作元件的栅电极、源极及漏极向上侧露出过程；

使探头接触于所述露出的位置的过程；及

通过所述探头检查所述动作元件的动作的过程；

其中，接触所述探头的过程包括：

向所述露出的位置移动探头的过程；

由光学部观察所述探头的动作的过程；

从由所述光学部观察到的所述探头的图像生成所述探头端部坐标的过程；

对比所述端部坐标与基准坐标判断所述栅电极、源极及漏极是否与所述探头接触的过程；及

利用所述是否接触的判断结果，控制所述探头移动的过程；

其中，检查所述动作元件的动作的过程包括：由所述探头与所述动作元件直接收发信号，并且检测所述动作元件是否进行动作的过程；

在配置所述被处理物的过程之前，包括观察所述被处理物来确认存在缺陷的检查区域的过程。

5.根据权利要求4所述的被处理物检查方法，其特征在于，

在配置所述被处理物的过程之后，包括：

向所述检查区域放射电子束的过程；

收集由所述电子束在所述检查区域中放射的信号的过程；及

利用所述信号生成缺陷信息的过程，其中所述缺陷信息包括所述检查区域中的所述被处理物的图像信息及成分信息中的至少一种。

6.根据权利要求4所述的被处理物检查方法，其特征在于，

在配置所述被处理物的过程之后，包括：

作为缺陷信息生成所述检查区域中的所述被处理物的三维图像信息的过程。