[发明专利]流体静压力的加压装置在审
| 申请号： | 201610517124.6 | 申请日： | 2016-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN105928777A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 丁琨;窦秀明;孙宝权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02;G01N3/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流体 静压 加压 装置 | ||
【权利要求书】：
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