[发明专利]基板成膜检查装置在审
| 申请号： | 201610515785.5 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN106226312A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李淳钟;禹奉周;朴炳澯 | 申请（专利权）人： | 塞米西斯科株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板成膜 检查 装置 | ||
【权利要求书】：
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