[发明专利]堆栈式溅射镀膜装置及其镀膜方法有效
| 申请号： | 201610501160.3 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105887030B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 戴秀海;范滨;余海春;王德智;余龙 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 徐小蓉 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 堆栈 溅射 镀膜 装置 及其 方法 | ||
【说明书】：
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