[发明专利]压电装置、液体喷出头以及液体喷出装置

权利要求书

1.一种压电装置，其特征在于，具备：

空室部件，其对空室进行划分；

压电元件，其以在所述空室部件的一个面上在与所述空室之间夹着可挠面的方式而被设置，且从该可挠面侧起依次层叠有第一电极、压电体以及第二电极而形成，

在所述空室部件中与所述空室分开独立的空部被形成于，相对于所述第一电极、压电体以及第二电极彼此互相重叠的能动部的端部而在俯视观察时重叠的位置处。

2.如权利要求1所述的压电装置，其特征在于，

所述空室部件具有对所述空室进行划分的空室形成基板、和作为可挠面而发挥功能的可挠部件，

所述空部通过被设置于所述空室形成基板上的凹部与所述可挠部件而被划分。

3.如权利要求1所述的压电装置，其特征在于，

所述空室部件具有第一空室形成基板和第二空室形成基板，所述第一空室形成基板对所述空室进行划分，所述第二空室形成基板被接合在该第一空室形成基板的与所述压电元件侧相反侧的面上，

所述空部通过被设置于所述第二空室形成基板上的凹部与所述第一空室形成基板而被划分。

4.如权利要求3所述的压电装置，其特征在于，

所述空部包括第一空部以及第二空部，所述第一空部通过被设置于所述第一空室形成基板上的凹部和所述第二空室形成基板而被划分，所述第二空部通过被设置于所述第二空室形成基板上的凹部和所述第一空室形成基板而被划分，

在所述空室部件中，所述第一空部与所述第二空部沿着所述空室的并排设置方向而被交替地形成。

5.如权利要求3或权利要求4所述的压电装置，其特征在于，

所述可挠面与所述第一空室形成基板被一体地形成。

6.一种液体喷出头，其特征在于，具备：

权利要求1至权利要求5中的任意一项所述的压电装置；

喷嘴，其与所述压电装置的空室连通，

通过所述压电装置中的压电元件的驱动而使所述空室内的液体产生压力变动，并通过该压力变动而使液体从所述喷嘴喷出。

7.一种液体喷出装置，其特征在于，

具备权利要求6所述的液体喷出头。

8.一种压电装置，其特征在于，具备：

第一室形成部件，其对第一室进行划分；

压电元件，其以在所述第一室形成部件的一个面上在与所述第一室之间夹着可挠面的方式而被设置，且从该可挠面侧起依次层叠有第一电极、压电体以及第二电极而形成，

在所述第一室形成部件中，第二室被形成于，相对于所述第一电极、压电体以及第二电极彼此互相重叠的能动部的端部而在俯视观察时重叠的位置处，并且在所述第一室与所述第二室之间具有壁。

9.如权利要求8所述的压电装置，其特征在于，

所述第二室与所述第一室相比而较浅。

10.一种液体喷出头，其特征在于，具备：

权利要求8或权利要求9所述的压电装置；

喷嘴，其与所述压电装置的所述第一室连通，

通过所述压电装置中的压电元件的驱动而使所述第一室内的液体产生压力变动，并通过该压力变动而使液体从所述喷嘴喷出。

11.一种液体喷出装置，其特征在于，

具备权利要求10所述的液体喷出头。