[发明专利]一种内嵌双层膜的LNOI晶片及其制备方法有效
| 申请号： | 201610474749.9 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106098745B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 华平壤;陈朝夕 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双层 lnoi 晶片 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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